进博会玻璃罩里的光刻机模型：没有实机，却藏着成熟制程的真实账本

进博会中国馆那台放在玻璃罩里的光刻机模型，远没有旁边的新能源车吸睛。上海微电子装备集团把新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800做成了模型展出，没有实机轰鸣，没有亿级订单签约。但恰恰是这台没有实体的模型，牵出一个被市场长期忽视的反差：当舆论和资本都把目光锁死在极紫外光刻机（EUV，目前最先进的光刻技术，用于制造3纳米、5纳米等尖端芯片）的路线之争时，真正在量产线上被反复验证、在中国半导体产业链里形成实质性自主能力的，反而是成熟制程所用到的干式光刻机。