很多人盯着光刻机和刻蚀机的时候，真空泵这个环节几乎没人愿意多看一眼。但翻开证券时报网披露的测算，一座12英寸晶圆生产线每3.5万片月产能大约需要配置2000台真空泵，这个数字就开始变得扎眼了。10月20日，中科仪（920186）公告拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，投资规模42,313.48万元，折合约4.23亿元。财联社的报道讲得很清楚，这笔钱不来自政府补贴，也不在既有募投框架里，而是企业自己掏腰包，计划分三年砸进去。第一年就要投下3.36亿元，占总额近八成，重资产前置的特征一目了然。从验证到交付，这个行业里最不起眼的心脏部件，开始抢身位了。
这容易让人想起日本真空设备产业在上世纪80年代走过的路。当时日本DRAM产业急剧扩张，东京电子、爱发科（ULVAC，日本真空设备制造商）这些设备厂商与日本电气（NEC，当时日本头部半导体企业）、东芝、日立等晶圆厂同步成长。日本企业当时做的并不是发明一种全新的真空泵技术，而是把泵的可靠性、一致性和成本控制做到极致，再把这种制造能力大规模铺开。最终，这种不那么性感的能力，让日本真空设备...