三星把蚀刻配方锁进保险箱，泛林还能摸到多少工艺体温？

一家设备商从晶圆厂拿到的数据，到底是维修手册，还是工艺命门？三星电子这次给出的答案是后者。泛林半导体（Lam Research，美国半导体设备商，主做蚀刻和沉积机台）给三星韩国产线供应设备，按照约定只能申请限定范围内的设备监控数据。但三星总部在2026年下半年确认，泛林韩国子公司通过不当请求，多次单独拿到了三星明令禁止外传的蚀刻工艺配方文件。韩国半导体媒体THE ELEC在11月9日核实了这个消息。