工博会上那台被围得水泄不通的极紫外(EUV,一种用于7纳米及以下先进制程芯片制造的光源技术)光源样机,现场工作人员反复被问到同一个问题:国产化率都做到90%了,为什么距离量产还要3到5年?这个反差恰恰戳中了尖端半导体装备最扎心的地方。据上观新闻和解放日报的现场报道,朗道燧岩这台光源系统样机在2026年10月第二十六届中国国际工业博览会上首秀,国产化率达90%,绝大多数核心零部件为自主研发,技术路线与国际领先厂商一致,可用于芯片曝光测试。但同一群工作人员也坦承,当前核心挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性,距离量产仍需3到5年。
这台被称作高端光刻机“心脏”的极紫外光源,是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一,长期受海外技术垄断与禁运限制。朗道燧岩2024年成立,2025年10月拿到张江高科旗下燧玥创投的天使轮融资,2026年7月又完成沃衍资本、中芯聚源等参与的A轮。从气体放电等离子体实验室的成果出发,这家公司用两年时间把一台EUV光源系统样机推到工博会展位上,这个节奏本身已经超出产业界对硬科技创业的传统认知。